中古 VARIAN 3290 #9171588 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9171588
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6"
Metal: AL Process
Main body
Etcher station
Electronics rack
(3) Deposition stations
(3) Plane targets
(3) VARIAN Water cooled type Gen1 DC power supplies
FLUKE Controller
CTI Cryo pump with compressor
RF Generator
Roughing pump (Oil type)
Gun source type
Currently de-installed.
VARIAN 3290スパッタリング装置は、大規模な蒸着操作用に設計された業界をリードする真空コーティングツールです。市場で最も信頼性が高く使いやすいシステムの1つであり、生産性の向上と運用中の基板温度とチャンバー温度の最適化に役立つさまざまな機能を提供しています。3290は、望ましい結果を得るために非常に重要な要因である均一なフィルム蒸着を確保するために直流システムを利用しています。このユニットは非常に高速なプロセス時間で動作するように設計されているため、オペレータはより少ない時間でより多くの基板をコーティングできます。VARIAN 3290は、セットアップ、シャットダウン時間を短縮し、多くの手動操作を排除する高度なオートメーションも備えています。付属のグラフィカルインターフェイスとメニュー駆動ソフトウェアを使用すると、3290は使いやすく、プログラムが簡単です。VARIAN 3290は、多様なアプリケーションや基板のニーズに対応するため、さまざまな柔軟な構成も提供しています。その電源は500から3000ワットに調節可能で、ユーザーに容量の条件によって2、4、6、8または12スパッタリングチャンバー機械を選ぶ選択があります。このツールには、チャンバー温度の維持と材料コストの削減に役立つ高効率の熱管理アセットも含まれています。安全面では、3290は市場で最も安全なスパッタリングシステムの1つです。このモデルは、運転前にイオン化ガスの存在をユーザーに警告するためのシールドオープンインジケータ、緊急停止スイッチと真空損失インジケータを含む、組み込みの安全機能を備えています。また、真空コーティングシステムのCSA規格C22.2 No。 135-12を満たすことが認証されており、厳格な安全基準を満たす保証を提供しています。VARIAN 3290は信頼性が高く効率的なスパッタリング装置で、大規模な蒸着作業に最適です。ダウンタイムの削減と材料コストの最小化に役立ち、高度な自動化と直感的なメニューで使いやすいです。これは、真空コーティングプロセスの機能を拡張しようとしている組織にとっては素晴らしい選択肢です。
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