中古 VARIAN 3290 #9157043 を販売中

VARIAN 3290は、薄膜コーティングの成膜用に設計された高度なスパッタリング装置です。その優れた性能は、高度なエッチング、イオン源の電源、4ヘッドのスパッタリングチャンバー、ロータリークローウェハハンドリング機構、完全自動マスフロープロセス制御システムなどの技術の組み合わせによるものです。膜厚180ナノメートル以下のパターンで、再現性の高い均一性を実現します。3290はデュアルチャンバーエッチングユニットを使用しています。金属、誘電体、ポリマーの安定したエッチングが可能です。4ヘッドのスパッタリングチャンバーは、時間に依存するプログラム可能な爪をソースと基板の間で回転させることによって動作します。この磁場は、均一な薄膜コーティングを形成するためのイオンスパッタリングエネルギーを生成します。ロータリークローウェハハンドリング機構により、プロセス間のウェハーの自動制御と効率的な輸送を可能にします。VARIAN 3290には、完全に自動化されたマスフロープロセス制御ツールが付属しています。これにはグラフィックユーザインタフェース（GUI）が含まれており、プロセス速度、ガス流量、ターゲット材料の厚さなどのパラメータを制御できます。GUIは、開始時刻と終了時刻を含むプロセス全体のクロニクルと、プロセス中に発生したすべてのイベントの詳細なログも提供します。スパッタリングアセットは、ユーザーが優れた薄膜コーティングを達成できるようにする機能の印象的なリストを持っています。これには、誘電体、金属、およびポリマーの堆積が含まれます。マグネトロンスパッタリング源は高い蒸着率を持ち、高精度で均一なコーティングを施すことができます。また、大きなチャンバー容量を持ち、ウェーハの大きなバッチをコーティングすることができます。3290のパワー制御は高精度で、0。1ミクロン単位で調整できます。これにより、コーティング厚さを正確に制御することができます。また、デュアルチャンバーエッチングモデルは、さまざまな材料の安定した再現性のあるエッチングが可能です。全体的に、VARIAN 3290は、業界標準の薄膜コーティングの均一性のために設計された高度なスパッタリング装置です。その機能と技術のスイートは、市場で利用可能な最も技術的に高度なスパッタシステムの一つになります。