中古 VARIAN 3290 #9139677 を販売中

VARIAN 3290スパッタリング装置は、金属および誘電体薄膜蒸着の製造に使用されるユニークな機器です。これは、高品質の金属または誘電体薄膜および高温平面MOSデバイスの生産のために特別に設計されています。3290は、1から4のターゲットに金属と誘電体の高スループットスパッタリングを提供し、最大5kWの電力範囲を提供します。このシステムは、バスパラメータのin situ制御を提供することにより、スパッタリングの背景の広い範囲を提供することができます。VARIAN 3290のバックボーンは、1 x 10-10 Torrまでの動作範囲で真空の超高速スループットを提供する統合真空生成ユニットです。この機械はまた基質の均一性を保障するために高性能の磁気円イオン化（HPMCI）を利用する多面的な沈殿の部屋を特色にします。また、低運用コストのVARIAN DC Sputter Sourceを搭載し、高い蒸着時間を維持しながらエネルギー消費を削減します。基本的な機能に加えて、3290はオプションの機器の広い範囲を提供しています。これには、温度、圧力、および堆積物の電気特性を直接測定できるさまざまなセンシング環境が含まれます。このツールには、成膜中のさまざまな材料の特性評価を正確に制御することができるダイナミックフィルム測定アセットもあります。また、スパッタリングプロセス全体のリモートコントロールを可能にする高度なサーバー機器を備えています。最大8つのターゲットを同時に制御でき、自動化されたデータ収集機能を提供します。また、洗練された真空リーク検出機能を備えており、迅速かつ簡単なリーク検出プロセスを可能にします。VARIAN 3290は、高耐久性のために構築され、最高の厚さの2µmで高品質の薄膜を生成します。オンサイトメンテナンスや検証など、さまざまなカスタマーサービスオプションでサポートされています。このシステムは、頻繁な校正や修正を必要とせずに再現可能な結果を出すことができ、高性能材料の製造に最適です。