中古 VARIAN 3290 #9094690 を販売中

VARIAN 3290は、VARIAN Semiconductor Equipment Associates、 Inc。が開発したコンパクトで完全に自動化されたスパッタリング装置です。3290は、幅広い材料を含むスパッタコーティング基板が可能で、金属、酸化物、合金などの堆積物に使用できます。このシステムは、様々な堆積性能要件を満たすために適応できる多目的スパッタリング構成を提供します。VARIAN 3290は、ロードロックを内蔵したシングルチャンバーユニットです。部屋の内部はステンレス鋼から組み立てられ、4つまでの別のスパッタ源のために配管されます。チャンバーには、プロセスガスフローを制御するための電子マッチマシンが含まれています。このツールには、プレスパッタリング基板クリーナーやロボット制御の回転基板カルーセルなどの機能も含まれています。3290は、高度な制御と監視機能の範囲が装備されています。これらの機能により、圧力、スパッタ圧力、プロセス時間、電源、電圧、電流、スパッタ源との距離などのプロセスパラメータを簡単に調整できます。さらに、アセットをリモートで制御するためのVES2-compatibleコンピュータインターフェイスも利用できます。VARIAN 3290のモニタリング機能を使用して、あらゆる工程で品質を保証できます。このモデルには、パーティクルカウンタ、線形可変差動変圧器（LVDT）、水晶マイクロバランス（QCM）、光モニタリングポートが内蔵されています。特にQCMは、吸着脱離等温および定量的表面品質評価の測定に使用できます。3290は、スパッタリング用途の広い範囲を提供しています。スパッタコーティング太陽電池、HFET、 FET、 MEMS、ナノワイヤー、ナノ粒子、薄膜トランジスタなどの高スループットスパッタリングに最適です。また、絶縁、導電性、半導体材料のスパッタ成膜も可能です。VARIAN 3290は効果的で汎用性の高いスパッタリングシステムです。高度な制御と監視機能により、高品質のコーティング結果を達成するための理想的なユニットです。ユーザーが金属、酸化物、合金、または他の化合物を沈殿させる必要があるかどうか-3290は完全なスパッタリングソリューションを提供します。