中古 VARIAN 3290 #9075491 を販売中

VARIAN 3290は、直径300mmまでの基板に高精度のスパッタリングプロセスを提供できる最先端の機器です。3290は沈殿プロセスの精密な制御を要求する研究および生産の適用のための最終的な解決です。それは高速、優秀なターゲット利用、操作の簡単さ、柔軟性および蒸発機能の利点を結合します。VARIAN 3290システムは完全に自動化されており、信頼性の高い堆積と再現性のある結果を得ることができます。また、直径300mmまでの包括的な基板を提供し、酸化物や金属を含む標準的なスパッタリングターゲットと互換性があります。高精度なユニットにより、堆積プロセスをより細かく制御することができ、異なる材料と厚さの複雑な多層アーキテクチャを作成することができます。3290マシンは、材料コーティングを堆積するためにマグネトロンスパッタリングプロセスを使用しています。このツールは、RF電源を搭載したシングルフィラメントカソード偏向型スパッタリングガンで設計されています。スパッタリング時に発生するアークを回転磁場で制御し、高いプロセス効率を実現します。RFバイアス電圧を使用すると、より高い沈着率が発生する可能性があります。このアセットは、ガス入力モデルと完全に統合されており、クリーンで安全な動作を保証します。空気の流れと純度を制御する高真空チャンバーと、フィルム品質を保証する自動ポンプアウトオプションを備えています。さらに、水再循環装置は、プロセス中に最適な温度を維持し、過熱から保護し、潜在的に損傷するコンポーネントを保護するのに役立ちます。VARIAN 3290は、直感的な制御システムを備えており、優れたプロセスデータの読み取りとプロセス制御を提供します。これには、手動および自動蒸着監視、ならびにユーザーの安全を確保するためのアラームおよびセーフガードが含まれます。さらに、複数のフィルムアーキテクチャを同時に作成し、各プロセスに関する詳細な情報を提供します。全体的に、3290は正確で再現性のある成膜結果を得るための信頼できる方法です。その高度な機能は、高精度の制御と柔軟なアーキテクチャのオプションを備えた研究および生産アプリケーションのための人気のあるオプションとなっています。スパッタリングプロセスに最適なソリューションです。