中古 VARIAN 3290 #166882 を販売中

VARIAN 3290は強力なスパッタリング装置です。スパッタリングは、材料をターゲットから脱落させ、制御された方法で基板に輸送する物理蒸着（PVD）プロセスです。3290は12。7 cmまで血しょう強化された沈殿のために設計され、材料の6つの源まで収容できます。VARIAN 3290システムは標準的なWindows™インターフェイスによって制御され、ユニット制御、プロセスパラメータ、およびデータロギング機能への容易なアクセスを可能にします。高度なユーザーインターフェイスと専用のレシピ言語を備えており、プロセス変数を簡単に変更、監視、ログ記録できます。モジュラー設計により、ユーザーはニーズに合わせてマシンコンポーネントをカスタマイズできます。3290スパッタリングツールにはマルチガンおよびダイナミカル制御機能が搭載されており、複数のターゲットを同時に制御することができます。デュアルガンのオプションは、VARIAN 3290に固有の機能であり、ユーザーはレスポンシブスパッタリングに使用できる個別のコントロールパラメータを備えた2つの銃を持つことができます。このアセットには、優れたイオン爆撃を提供するパルスDC™ RFジェネレータが供給され、スパッタ層の接着特性が向上し、成膜速度が向上します。さらに、DC-Biasオプションにより、ステップハイトの大きい基板で均一なカバレッジが可能になります。3290は幅広い用途に対応できる汎用性の高いモデルです。VARIAN 3290は、堅牢な機能と優れた性能により、真空メタライゼーションから精密な薄膜蒸着まで、幅広いスパッタリングプロセスに対して信頼性の高い正確な制御を提供します。酸化物、窒化物、金属などの様々な材料や、金属化、コーティング、半導体デバイスの製造に使用できます。その精密な制御と高速処理時間により、産業および研究用途に適しています。