中古 VARIAN 3290 #148077 を販売中

VARIAN 3290は、高品質の材料沈着および分析を製造するために設計された最先端のスパッタ装置です。2種類の素材を2つのポケットに収納できる3ポケットシステムです。蒸着プロセスは、VARIANコンピュータエンジニアによって作成されたコンピュータ制御プログラムによって制御され、異なる基板に異なる材料を非常に正確に蒸着することができます。3290は、最大500mmの金属基板を回転して保持することができ、研究開発（R&D）アプリケーションに最適です。このユニットは高精度の圧力および真空コントローラを備えており、スパッタリングプロセス全体で正確なスパッタリングレートと基板の均一性を実現します。また、高度に制御された環境で、正確で信頼性の高いガス添加を可能にするため、5段式のガス供給機を備えています。これにより、蒸着温度を正確に監視・制御し、優れた性能を発揮します。3ポケットツールには、最高レベルの材料品質と均質性を確保するために設計されたいくつかの機能があります。マグネトロンスパッタリング技術を使用することで、強固な接着性を必要とする多層層や、異なる基板における正確な膜厚など、極めて正確な材料蒸着が可能になります。さらに、3つの異なるガス環境を利用することができ、蒸着速度の高速化、コリメータ効率の向上、スパッタリング電力の削減、および高純度の材料を実現します。高度な光学検査モデルの統合により、VARIAN 3290は正確な材料の厚さと分布を確実に達成できます。オプションの4フレームのカメラ装置も用意されており、細部の測定や超薄物層の特定に最適です。マルチゾーンプロセス制御機能により、微細なピッチ精度と優れた成膜均一性を実現します。3290はあらゆる適用で優秀な性能を提供する信頼でき、耐久の単位であるように設計されています。メモリマッピング、リアルタイムモニタリング、正確な画面読み取りなどのメンテナンス診断やキャリブレーションツールが含まれているため、使いやすくメンテナンスも簡単です。このツールには、オペレータの詳細な説明を提供する包括的なユーザーマニュアルも付属しています。