中古 VARIAN 3290 STQ #9262677 を販売中

VARIAN 3290 STQは、多種多様な材料を基板上にコーティングできるスパッタ成膜装置です。導体、抵抗材料、絶縁体、誘電体、酸化物、窒化物、合金など幅広いフィルムタイプを製造することができます。アルゴンイオンやパルスDCガンなどの特殊なスパッタ源とのインターフェースを提供し、マグネトロンスパッタリングの可能性を開きます。VARIAN 3290STQは、主に単一のプラットフォームでさまざまなプロセス技術を提供するスパッタリングシステムです。これは、従来の直流（DC）スパッタリング、固定および交互の酸素混合の反応スパッタリング、最大4ソース構成、およびcusomizable反応スパッタリングの機能を提供します。これらの様々な技術を使用することにより、低温での高い蒸着率とより良い均一性を可能にします。さらに、3290 STQは、特定の結晶構造を必要とする材料などの成膜をカスタマイズするための柔軟性を提供します。このユニットは、純度が高く、より滑らかで高品質な仕上がりを実現するために、清潔性と低接触汚染を特長としています。これは、自動ロードロック300mmおよびウェーハ転送メカニズムと、プロセスによる汚染を低減する自動チャンバーパージによって実現できます。3290STQマシンはまた、そのメーカーの特許を取得したマスクコリメーションツールで基板位置制御のための例外的な精度を提供します。これは、1000分の1インチ内で正確な反復可能な膜厚と均一性を提供するのに役立ちます。アセットの光学系は、送信された波長を絶縁するための干渉フィルタでシャープであり、その設計は欠陥を削減または排除するのに役立ちます。これは、要素の伝統的なクロス汚染の欠如による信頼性と再現性の向上を提供します。結論として、VARIAN 3290 STQは、多様な材料を基板に正確かつ一貫してコーティングできる高度なスパッタ蒸着モデルです。比類のない精度で幅広いフィルムタイプを生産することが可能であり、その高度な技術により、滑らかな仕上がり、優れた均一性、精度を提供することができます。この装置は、プロセス制御能力を活用することで、生産性を向上させ、コストを削減するのに役立ちます。