中古 VARIAN 3290 STQ #9255762 を販売中

VARIAN 3290 STQは、半導体業界の様々な薄膜用途に使用される高度なスパッタリング装置です。高品質で均一な薄膜層を高いレートで堆積させることができるハイスループットコスパッタリングツールです。このシステムにより、複数のターゲット構成と複数の正確に制御されたスパッタリングプロセスが可能になります。複数のターゲットユニットは、膜厚と均一性の両方がさまざまな基板にわたって一貫していることを保証します。堆積膜の均一性は、プロセス圧力、堆積率、ターゲット・バイアス、ソースと基板温度、ターゲットと基板の距離、およびその他のパラメータなどの様々な堆積パラメータを制御することによって達成されます。VARIAN 3290STQの優れた性能は、高効率の基板加熱機能によるものです。これにより、基板ジオメトリ全体の膜厚と組成において高いレベルの均一性が容易になります。堅牢なマシンは、PVD、マグネトロン、eビームスパッタリングなどの複数のプロセスモードと同様に、視線とターゲット間の距離の調整が可能です。3290 STQは使いやすさのために設計されており、直感的なユーザーインターフェイスが付属しています。設計機能には、自動化された圧力および温度制御、リアルタイムのレシピ編集、マルチポイントソース検証、およびライブ圧力測定が含まれます。同様に、このツールには、オペレータが資産の問題を簡単にトラブルシューティングできる自己診断メニューが含まれています。3290STQには、ユーザーの安全を確保するためのさまざまな安全機能も含まれています。これらの機能には、高度なセキュリティアクセス、ガスシャットバルブ、ダブルチェックバルブ、自動ドアシャットオフが含まれています。全体的に、VARIAN 3290 STQは、高い蒸着速度で高品質で均一な薄膜層を堆積できる高性能スパッタリングシステムです。精密制御されたセンシングと安全インフラにより、幅広い薄膜アプリケーションに適しています。