中古 VARIAN 3290 STQ #9250098 を販売中

VARIAN 3290 STQ
ID: 9250098
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2000
Sputtering systems, 6" Quantum target 2000 vintage.
VARIAN 3290 STQは、材料の薄膜を基板に堆積させるために設計された最先端のスパッタリング装置です。このスパッタリングシステムは、アルミニウム、クロム、ニッケル、チタン、タングステン、銅、銀など、幅広い材料を堆積することができます。VARIAN 3290STQは、最大4つの材料を同時に堆積することができるマルチマグネトロンユニットで、アプリケーションのニーズに応じて高度に構成可能です。機械の独特な設計は沈着率、フィルム厚さおよび層の構成の例外的な均等性そして再現性を可能にします。3290 STQの露出された部品は、強力で超硬質のステンレス鋼で構成されており、優れた機械的安定性と振動を最小限に抑えます。チャンバーは密閉されており、ハイテクなスパッタリング源に加えて真の真空ポンプステーションが含まれています。このツールには、高度なオンボードモニターと最大限の制御と自動化のためのコンピュータインターフェースが組み込まれています。堆積プロセスは、磁気アレイに慎重に配置された高エネルギー磁石からの望ましい材料のスパッタリングから始まります。このアレイは、材料の効率的なスパッタリングと蒸着を可能にし、チャンバーへの単なる拡散を防ぎます。材料は、それがスパッタリング源から離れて、基板を横切って真空ポンプステーションによって基板上に収集されます。これにより、基板へのフィルムの均一で再現性のある成膜が保証され、高品質で一貫した薄膜が得られます。3290STQは、スパッタコーティングおよび関連するハイテクプロセスに理想的に適しています。半導体、光電子デバイス、ホールセンサー、薄膜コーティングなど、薄膜材料を必要とする多くの技術があります。さらに、VARIAN 3290 STQは、精度と精度を兼ね備え、薄膜の信頼性と一貫した成膜に関する業界標準を提供します。
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