中古 VARIAN 3290 STQ #9248600 を販売中

VARIAN 3290 STQは、VARIAN製の反応イオンスパッタ装置です。半導体、ガラス、プラスチック、金属など、さまざまな材料に薄膜を堆積させるなどの産業用途に使用されています。このシステムは、高品質で信頼性の高いスパッタフィルムを必要とする自動車、航空宇宙、医療機器、電子機器、その他の産業に適しています。VARIAN 3290STQの設計は、スパッタフィルムのプロセススループットと均一性を最大化します。このユニットは、2つまたは3つの調整可能なターゲット、1つ以上のアルゴン平面マグネトロン、高出力DC電源、および正確なパラメータ設定と監視のためのコントローラで構成されています。各ターゲットには、磁場強度とイオンの中性比を独立して調整できる個別のマグネトロンを装備することができます。高電力電源により、スパッタ速度を最大70µm/minまで可能にし、高品質のフィルムの高い蒸着速度を保証します。3290 STQは、プロセス制御と信頼性を向上させるさまざまな機能を提供します。これは、従来の陰極弧を排除する高度なアーク防止技術を提供しています。この高度な技術により、アークが検出されたときにパラメータを検出して調整することで、ターゲットの使用率を向上させることができます。このマシンには、操作中に問題が発生した場合にユーザーに警告するプロセス監視ツールもあります。さらに、プラズマのイオンフラックスとエネルギー分布を測定するプラズマソースシミュレーション機能を利用しています。これにより、信頼性の高いプロセス制御が可能になり、消費電力とスパッタリング時間を削減できます。3290STQには診断、レポート、およびデバイスの健康情報も含まれており、プロセスの安定性と正確性を向上させるのに役立ちます。全体的に、VARIAN 3290 STQは信頼性の高いスパッタモデルで、スパッタフィルムの最大処理スループットと均一性を提供します。高度なアーク防止技術とプロセスモニタリングとプラズマソースシミュレーションを組み合わせて、一貫した正確なスパッタ蒸着を実現します。プロセス診断機能とレポート機能により、デバイスの健全性が向上し、信頼性の高いプロセスが保証されます。高品質で信頼性の高いスパッタフィルムを必要とするメーカーは、VARIAN 3290STQの恩恵を大いに受けます。