中古 VARIAN 3290 STQ #9188626 を販売中

VARIAN 3290 STQは、一貫した信頼性の高いスパッタリングプロセスを提供するように設計された高度なスパッタリング成膜装置です。その特徴はそれを産業および研究の適用の広い範囲のために適したようにします。VARIAN 3290STQは、通常、金属、半導体、誘電体、ポリマー、セラミックスなどのさまざまな材料の基板上に薄膜をスパッタするために使用されます。このシステムには、真空チャンバーとイオン源という2つの主要コンポーネントがあります。両方のコンポーネントは、単一のコンパクトな機器に統合されています。真空チャンバーは、外部シリンダー、内部シリンダー、および霜の壁で構成されています。外的なシリンダーは低圧環境を作成するために内部シリンダーおよび霜の壁が基質の温度およびスパッタの位置の堅い制御を保障する間、要求されます。スパッタガンは位置調整可能であり、基板の正確なスパッタカバレッジを可能にします。イオン源は、対象物質をスパッタするために使用される高速イオンを生成する責任があります。この単位は非常に調節可能で、異なった適用にさまざまなターゲット材料を使用することを可能にします。このソースは最大12kWの生成が可能で、多種多様な金属や半導体をスパッタするのに十分な強力性を備えています。3290 STQには、最先端のプロセス制御システムも装備されています。PIDコントローラとSCADAシステムは、スパッタリングプロセス全体を正確に制御し、毎回一貫した結果を保証します。さらに、このマシンは他のコンポーネントと容易に統合できるように設計されており、さまざまなアプリケーションに適した多目的なセットアップが可能です。全体として、3290STQツールは、蒸着プロセス全体を正確に制御する信頼性の高いスパッタリングプロセスを提供するように設計されています。調節可能なイオン源とチャンバー構成により、幅広い用途に適しています。プロセス制御機能は、一貫した結果を得るための優れた精度を提供します。