中古 VARIAN 3280 #31504 を販売中

VARIAN 3280は、大型基板上に薄膜をスパッタするために設計された強力なスパッタ装置です。光学、電子、磁性材料の研究に適用するための柔軟で費用対効果の高いソリューションを提供します。このスパッタリングシステムは、先進的な長寿命電子ビームガンと自動3軸モーションコントロールユニットと組み込みの環境およびプロセス制御を組み合わせています。3280マシンはスパッタリングを制御しやすくするために設計されており、圧力、温度、電流、基板位置などのパラメータを正確に調整できます。このツールには、大きなスポットサイズと高度に調整可能なビーム電流を特徴とする電子ビームガンが装備されており、再現可能なプロセス最適化が可能です。ビーム電流は0から300mAまでの広い範囲で正確に調整でき、最も困難な材料でもスパッタすることができます。一貫したスパッタコーティングプロセスを確保するために、VARIAN 3280はまた、特殊な環境制御を利用しています。統合された自動大気制御モデルにより、酸素、アルゴン、窒素ガスのレベルをリアルタイムで監視し、クリーンで効率的なプロセスを保証します。さらに、この機器には、船内温度監視システムと統合圧力制御ユニットが含まれており、大きな基板領域にわたって一貫したスパッタコーティング温度を維持するのに役立ちます。最後に、3280は均一な適用範囲の大きい基質区域を容易にスパッタする強力な3軸モーションコントロールマシンを提供します。このモーションコントロールツールには、統合された真空シール、高解像度エンコーダモジュール、非同期モータドライブが装備されており、滑らかで均一なフィルム成膜を実現します。要約すると、VARIAN 3280は強力で費用対効果の高いスパッタリングアセットです。このモデルは、高度な電子ビームガン、洗練された環境およびプロセス制御、および信頼性と再現性の高いスパッタコーティングプロセスを保証する強力な3軸モーションコントロール装置を備えています。3280は光学、電子および磁気材料の研究の適用のための理想的な選択です。