中古 VARIAN 3190 #9278288 を販売中

VARIAN 3190は、シングルまたはマルチターゲットアプリケーション用に設計された中型マルチターゲットマグネトロンスパッタリング装置です。3190は、運用効率を向上させるさまざまな革新的な機能を備えた、高度に自動化された信頼性の高いスパッタリングプラットフォームです。基本的なVARIAN 3190システムは、RF電源、DC電源、高真空ユニット、シングルまたはマルチターゲットスパッタリングチャンバーで構成されています。RF電源は、最大出力電力が13.56MHz 10kWの周波数でAC電源を生成します。DC電源は、最大動作電圧1.5kW -50/-120Vまで供給可能です。この高真空機には、高真空ポンプ、フルレンジの検出器、高流量真空ツールが装備されています。3190のスパッタリングチャンバーには、RF電源からスパッタターゲットへの最適なエネルギー移動を保証する球状真空チャンバー、内部磁石、フィールドラインからなる高出力の無線周波数（RF）シールドが装備されています。ターゲット自体は特別なバッキングターゲットサポートに取り付けられており、スパッタリング中の移動を防ぎます。バッキングターゲットサポートは、ターゲットを簡単に変更する方法も提供します。VARIAN 3190は、研究、開発、および生産アプリケーションに理想的な資産となるさまざまな機能を提供します。RF電源は、スパッタ蒸着速度を正確に制御するためのプログラム可能なパルス幅変調（PWM）を提供します。DC電源はスパッタ材料の方向制御を可能にし、柔軟性を高めます。高周波RFソースは、35ナノメートルのサイズのフィーチャーサイズも生成します。3190のスパッタリングチャンバーには、いくつかの追加機能もあります。これらには、ターゲット温度を正確に制御する機能と、チャンバー内のアルゴンガス圧力を正確に制御する機能が含まれます。VARIAN 3190は、圧力インターロックや低流量シャットオフなど、安全性と信頼性を高めるさまざまな機能も備えています。3190スパッタリングモデルは、スパッタ蒸着用途に柔軟性と精度の両方を提供します。信頼性の高い高性能な機器設計を特徴とし、幅広い研究、開発、生産アプリケーションに容易に統合できます。VARIAN 3190は、信頼性とコスト効率に優れたスパッタリングシステムで、さまざまな科学的および産業的状況で使用できます。