中古 VARIAN 3190 #9277865 を販売中

VARIAN 3190は、高度な薄膜成膜用に設計されたモバイルスパッタリング装置です。6ステーションプロセスチャンバー構成を備え、最先端のエレクトロニクスとコンポーネントを備えており、信頼性と再現性の高い結果を提供します。最大6つのスパッタチャンバーが可能なプロセスチャンバーは、各プロセスチャンバーを独立して制御し、複雑な層構造と簡単なレシピ転送を可能にします。チャンバーは真空対応で、5分未満の高速ポンプダウンタイム。ターボ分子RGAを内蔵し、チャンバー圧力を制御して10-6 Torrの下で究極の圧力にすることができます。チャンバーは、最大14 「x 8」の平面、ライン、または列ターゲットで構成でき、最大5000ワットの電力レベルを提供します。3190はスパッタ率、源の流れ、基質の温度、沈殿率および他のプロセスパラメータを監視するのに使用することができる高度プロセス制御システムが装備されています。プロセス制御ユニットは、可能な限り最良の結果を得るために、処理パラメータの最適化を可能にします。このマシンは高度に自動化されたプロセスであり、レシピは内部のPCに保存されています。これにより、レシピの迅速なセットアップと転送、およびプロセスの追跡とプロセスの最適化が容易になります。さらに、VARIAN 3190は金属、酸化物、窒化物などの幅広い材料を堆積することができ、直流（DC）から高周波（HF）スパッタリング、電子サイクロトロン共鳴（ECR）スパッタリング、および近接結合マグネトロンスパッタリングまで、幅広い蒸着技術をサポートします。3190は実験室および産業スパッタリングの適用のための優秀な選択を提供し、可変的なコーターおよび優秀なlow-kの処理機能の信頼できる、反復可能なプロセスを提供します。VARIAN 3190は、堅牢な設計、汎用性の高いプロセス機能、高度なプロセス制御を備えており、利用可能な最高のスパッタリングシステムの1つです。