中古 VARIAN 3190 #9244764 を販売中

VARIAN 3190は、幅広い用途で科学研究分野で一般的に使用されるスパッタ装置です。このマシンには、一貫したマイクロプロセッサベースのハードウェアとソフトウェアアーキテクチャで設計されたコントローラと、いくつかのサンプル支持ホルダーを備えた真空チャンバーが含まれています。このスパッタリングシステムには、電子放出（EE）源が搭載されており、強烈な焦点電子ビームを使用して試料表面層の金属イオンを励起し、薄い均一な膜を生成します。3190スパッタリングユニットは、オールデジタルシステムアーキテクチャを使用しています。本機は、610mm×610mm×150mmの寸法の真空チャンバーを備え、複数のアクセスポート、真空ポンプ、圧力計、サンプルサポートホルダーを備えています。ホルダーは、EEソースに接続された一連の電極で設計されており、スパッタリングのためにホルダーに幅広いサンプルを配置することができます。スパッタリングプロセスは、コントローラによって供給される複数のEEソースによって駆動されます。これらの源は、サンプル基板の表面に連続電子ビームを放出するように構成されており、電子はサンプルの金属イオンと相互作用して薄く均一なフィルムまたはコーティングを作成します。この薄い層は、最適なサンプル保存に不可欠であり、適切なエネルギーレベルのEE源を選択することによって、さまざまな材料を達成することができます。さらに、VARIAN 3190スパッタリングツールには、堆積物の厚さを正確に制御できるデジタル計測機能が搭載されています。2つの主な計測機能は「、厚さ計測」と「エッジ計測」です。前者はサンプルの平均層の厚さを光トポグラフィで測定し、後者はサンプルのエッジの厚さを測定します。3190スパッタリングアセットはまた、モデルと互換性のあるアクセサリーの広い範囲を提供しています。これには、追加のEEソース、基板電源、パラメータ監視ソフトウェア、および幅広い特殊な真空ポンプが含まれます。全体的に、VARIAN 3190スパッタリングモデルは、薄くて均一で一貫した材料堆積物のための使いやすく手頃な価格のソリューションを提供しているため、学術的および産業的な環境の研究者にとって理想的な選択肢です。その柔軟なアクセサリーと機能の範囲はまた、それは様々なアプリケーションに非常に適しています。