中古 VARIAN 3190 #9237465 を販売中

VARIAN 3190スパッタリングシステムは、薄膜蒸着アプリケーションで使用される強力で信頼性の高い機器です。材料の薄膜を制御された大気中の基板に堆積するように設計されています。スパッタリングでは、材料はターゲット源からプラズマ誘起された粒子の砲撃を介して基板に転送されます。3190は高精度、再現性および汎用性の表面の変更を可能にします。このシステムは、ユーザーがさまざまなフィルム特性をもたらすスパッタリング速度を調整することができる調整可能なビームエネルギーレベルを提供しています。また、マルチテーブル構成を使用して、ターゲットと基板の粒子衝突を最小限に抑えます。高度なプログラマブルコントローラパネルを使用すると、ターゲットのサイズ、形状、基板までの距離など、複数の変数を設定および制御できます。VARIAN 3190はまた、マルチターゲット磁気シールド（MTMS）機能により、高いレベルの基板均一性を提供します。MTMSはスパッタリングプロセスからの迷い粒子による基板の爆撃を防ぎ、堆積膜のピンホーリングを排除します。また、スパッタリング中のターゲットから基板までの距離と粒子の軌道を一貫して確保します。安全面では、3190は、オペレータが沈着プロセスを開始するたびに視線を遮断する保護シールドが装備されています。また、騒音を低減し、危険のないワークスペースを維持する排気システムが付属しています。VARIAN 3190は、さまざまな蒸着プロセスに使用できる強力で信頼性の高いスパッタリングツールです。可変ビームパラメータ、プログラマブルコントローラパネル、MTMS技術を幅広く提供し、高度な薄膜蒸着アプリケーションに必要な精度をユーザーに提供します。また、安全で快適な作業環境に必要な高度な安全機能も備えています。