中古 VARIAN 3190 #9002890 を販売中

VARIAN 3190
製造業者
VARIAN
モデル
3190
ID: 9002890
ウェーハサイズ: 5"
Sputtering systems, 5".
VARIAN 3190は、物理蒸着(PVD)および表面洗浄に使用されるスパッタコーター装置です。この先進的な装置は、オートスパッタ源、アノードおよびターゲット形状電極システム、および高真空室を備えています。効率的で一貫したスパッタリングのために設計された3190は、半導体製造やその他の産業用途での使用に最適です。VARIAN 3190は、金属、シリコン、その他の非金属化合物を含むすべての種類の材料をスパッタリングすることができます。また、精密なコーティング制御のための大きなターゲット形状の電極ユニットを備えています。また、非常に均一な粒子サイズで高精度でスパッタすることができ、最高品質のコーティングを保証します。この機械は、直径1インチ、高さ4インチまでのサンプル処理も可能です。性能面では、3190は超低電力から超高電力まで幅広い蒸発範囲を持っています。高真空チャンバーのポンプ速度は最大5E-4 Torrです。また、特許取得済みのスロットリング設計により、コーティング工程の再現性と最小限の粒子残骸を保証します。さらに、このツールのトランスポート資産は素材の交換レートが速く、タイムリーなサンプル処理とスループットを可能にします。VARIAN 3190には高度な制御モデルもあります。これにより、ユーザーはサイクル中にスパッタリングやその他のパラメータを正確に監視することができます。また、オペレータは、特定の要件を満たすために、処理パラメータに迅速かつ予測可能な調整を行うことができます。最後に、3190は使いやすく、維持しやすいです。これは、自動起動シーケンスとシャットダウンシーケンスを備え、ユーザーの介入を最小限に抑えるように設計されています。自動クリーニング機能を備え、定期的なクリーニングやサービスに簡単にアクセスできるため、メンテナンス要件は最小限です。全体的に、VARIAN 3190は、精密コーティング用途に適した信頼性の高い高度なスパッタコータシステムです。自動化された機能、調節可能な蒸発範囲、および信頼性の高い制御ユニットは、効率的で一貫したPVD処理結果を求める人々にとって理想的な選択肢です。
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