中古 VARIAN 3190 #50850 を販売中
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ID: 50850
ウェーハサイズ: 5"
Sputtering system, 5"
(3) DC power supplies: Conmag, 12kW
Controller: Fluke 1722A
Ver: 3.1, CTI-TORR 8, installed.
VARIAN 3190スパッタリング装置は、材料の薄膜をさまざまな基板に堆積させるように設計された汎用性の高い高性能スパッタリングツールです。最先端のシステムはマグネトロンスパッタリング技術を採用しており、ユーザーは高品質で再現性のあるフィルムを堆積させることができます。3190は、優れた均一性、優れたステップカバレッジ、より大きなプロセスの柔軟性、および幅広いフィルムパラメータとともに、高い沈着率を備えたユニークなソースデザインを特徴としています。また、高度なプロセスコントロールにより、最高のスパッタレートとその他の均一なスパッタリング性能を実現します。VARIAN 3190は、透明フィルムやバイナリフィルム、有機フィルム、誘電体、導電層など、さまざまな材料に使用できる強力なマルチターゲットスパッタリングシステムです。ストレージメディア、フラットパネルディスプレイ、データストレージ、光コンポーネントなど、幅広いアプリケーションに対応しています。ユニットは、各ユーザーのニーズに応じて3つの異なる構成で提供されます。1 x 2の配置で最大3つのターゲットに対応でき、最大出力2700ワットのRF/DC電源を備えています。このマシンはまた、プロセスパラメータとパラメータの広い範囲を提供しています。3190はまた、より効率的なオートメーションオプションのいくつかを提供しています。これには、サンプルの取り扱いが容易な回転トロリー、より大きなプロセス制御とサンプル測定のための自動シャットダウン、およびフィルム特性を正確に制御するための厚さマッピング機能が含まれます。全体として、VARIAN 3190は最新技術を搭載した信頼性と汎用性の高いスパッタリングツールで、幅広いアプリケーションに最適です。
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