中古 VARIAN 3190 #42672 を販売中

VARIAN 3190スパッタ装置は、研究および産業用途向けに設計された高度で高性能な物理蒸着（PVD）システムです。最大工程温度は1400°Cで、10^-2〜10^-7 Torrまでの工程圧力の範囲で、この非常に汎用性が高く信頼性の高いユニットは、幅広いコーティングプロセスと薄膜蒸着アプリケーションを最適に実行できます。機械は2つの相互接続された部屋、スパッタリングターゲットアセンブリを収容する上の部屋および基質を含んでいるより低い真空の部屋から成っています。スパッタリングターゲットアセンブリは、RFまたはDCスパッタリングソースで構成された最大3つの独立したターゲットソースに対応できます。さらに、ターゲットを目的のコーティング材料にカスタマイズすることができ、金属、合金、酸化物、および誘電体の堆積を可能にします。3190は、高度な基板バイアスコントロール技術を採用しており、基板電位の正確な制御と正確な均一性を可能にします。この技術により、ターゲットごとにスパッタリング成膜パラメータを独立して制御することが可能になり、完成品の均一性がさらに向上します。さらに、このツールは高度なマルチゾーン加熱および冷却プラットフォームを備えており、最大5つの燃焼ゾーンの正確な温度制御を可能にし、優れた品質と蒸着結果の再現性を保証します。VARIAN WebベースのOptimaソフトウェアプラットフォームと組み合わせると、VARIAN 3190はスパッタ蒸着プロセスを完全に制御し、最終結果を大幅に最適化できます。この直感的なインターフェイスにより、プロセスパラメータの完全な監視が可能になり、正確なプロセス診断とトラブルシューティングが可能になります。さらに、このアセットには高度なプロセス診断ツールも搭載されており、問題を簡単に特定し、リアルタイムで是正措置を講じることができます。要するに、3190は薄膜蒸着プロセスを最適化するために設計された最先端の機能を備えたパワフルで直感的なPVDモデルです。この装置は、比類のないプロセス制御と正確な基板均一性を提供し、幅広い産業および研究用途に理想的なプラットフォームとなっています。