中古 VARIAN 3180 #9278289 を販売中

VARIAN 3180は、薄膜成膜用に設計された最先端のスパッタリング装置です。それはスパッタリングの適用の範囲のための優秀な性能そして制御を提供します。3180は、6ステーション回転基板ホルダーを内蔵した3軸モーションコントロールシステムにより、正確な成膜速度と均一性を保証します。このユニットは、発煙シールドによって発煙や粒子から保護された大きな3インチ（76 mm）スパッタガンを備えています。最大4基のスパッタガンをマシンに接続することができ、シングルターゲットとデュアルターゲットの両方でスループットを向上させることができます。VARIAN 3180には、蒸着プロセスを同時に監視および制御するためのVacuum 10。1インターフェイスが装備されています。このコントローラーはユーザーが蒸着速度、流量、圧力および温度を監視し、制御することを可能にします。このツールには、均一な蒸着のためのリアルタイム温度と周波数制御が含まれています。また、アルゴン、酸素、窒素、水素、ハロゲンを含む最大7つのプロセスガスをサポートしています。このアセットは、1 x 10-4 Torrの圧力に達することができます。これは、市販のスパッタモデルによって達成可能な最高値です。これにより、薄膜太陽電池やマイクロエレクトロニクスなどの超高真空スパッタリング用途に適しています。この装置は、ほとんどの基板材料と互換性があり、直径8インチ（200mm）までの基板に対応できます。このシステムは、高い動作温度でも優れた均一性と低い浸食率を提供するグラファイトフィラメントユニットを備えています。グラファイトフィラメントマシンはまた、基板に到達する電子の量を減らし、高温プロセスに最適です。最後に、3180はメンテナンスと修理のための簡単なアクセス設計で、優れた安全機能を提供しています。また、ツールを実行している間にスパッタ銃の不要な動きを防ぐ横方向の動き安全機能が装備されています。結論として、VARIAN 3180は、幅広いアプリケーションに最適なパワフルで信頼性の高いスパッタアセットです。真空10。1コントローラ、リアルタイム温度および周波数制御、グラファイトフィラメントモデルなどの機能を備えた優れた性能、精度、および制御を提供します。