中古 VARIAN 3180 #9269837 を販売中

VARIAN 3180は、コンパクトで効率的なスパッタ蒸着装置で、ラボ、研究および生産設備の要件を満たすように設計されています。プロセスの均一性と蒸着速度に最適化されており、幅広い材料に精密制御を提供します。多層フィルム、均一なコーティング、複雑な形状、特殊なテクスチャなど、多様なパターンを作成することができます。このシステムには、さまざまな用途に適したさまざまなチャンバー構成が付属しています。その最適な寸法-スペースの節約のために十分に小さくても、複雑なタスクに対応するのに十分な大きさ-精度、スループット、プロセス制御の優れた組み合わせを提供します。また、真空ユニット、温度制御基板ホルダー、および十分に絶縁されたマイクロ波プラズマ源を備えています。同一基板に多層成膜とスパッタリングを同時に行うことで複雑な構造を形成することができるのが特徴です。このツールは、プロセスチャンバーと電源という2つの異なる部品で構成されています。プロセスチャンバーは、フルサイズの資産と同じ要件を満たすように設計されています。内部機能は、優れたプロセスの均一性とスループットを実現するために最適化されています。腐食や熱衝撃に耐える耐久性のある素材で作られています。電源は非常に効率的で、低高調波歪みを備えています。DCバイアス、リアクティブバイアス、イオンエネルギーの3つの独立した調整電源が含まれています。これらのコンポーネントにより、モデルは高温およびスパッタレートであっても、所望の出力電力を一貫して供給することができます。3180は、高度な薄膜蒸着のための非常に汎用性の高いスパッタリング装置です。その運用効率、使いやすさと優れた空間均一性により、大規模および小規模生産アプリケーションの両方に最適です。