中古 VARIAN 3180 #9242140 を販売中

VARIAN 3180装置は、薄膜成膜プロセスに使用されるスパッタリング成膜ツールです。特許取得済みのハイブリッドマグネトロンヘッド（HMH）を搭載し、優れたプラズマ均一性を発揮し、工業規模の生産に最適です。HMHは、静的および動的マグネトロン構成と正確に制御された磁場を組み合わせています。これにより、生産基準を満たすために必要な最適な電力安定性と均一性を実現します。このシステムには、独立したガスパイロット制御、高い電源、およびタレットの回転スパッタリング源を備えたマルチターゲットハウジングもあります。また、スパッタリングプロセスを迅速かつ簡単に設定するデジタルプロセスパラメータ調整コントロールをユーザーに提供します。3180は物理蒸着（PVD）に適しており、さまざまな薄膜アプリケーションを製造することができます。例えば、投資家はスパッタリング蒸着プロセスを使用して、耐摩耗性、EMIシールド、電気結合などのさまざまな用途にアルミニウム、チタン、銅、金、銀などの金属を適用することができます。また、デュアルソース構成により、高いスループットレートを実現できます。さらに、このツールは高度なプロセス制御機能を提供します。これには、リアルタイムモニタリングとデータ収集ユニットが含まれており、ユーザーはプロセスがどのように実行されているかを分析し、リアルタイムで最適化することができます。VARIAN 3180は、再現性のある高品質の薄膜を提供するように設計されています。これは、自動化されたタッチスクリーンインターフェイスを介して調整可能な圧力、電力、フィルム特性、均一性、およびその他のプロセスパラメータなどのプロセス制御指標を使用することによって保証されます。このスパッタリングマシンは、最適な性能で高スループットを必要とする産業用途に最適なソリューションです。マルチターゲット構成と効率的な電源により、再現性と信頼性の高いプロセス結果が得られ、研究環境と生産環境の両方に最適です。