中古 VARIAN 3180 #9238713 を販売中

VARIAN 3180は、さまざまな材料の成膜とエッチング用に設計された汎用性の高いDCスパッタ装置です。永久磁石スパッタリング技術を活用し、均一性と接着強度を高めた薄膜を作成します。この技術はまた、精密な分子層の制御で複雑な積層スタックの堆積を可能にします。3180は、プロセスの再現性とスループットを向上させるために完全に自動化されており、2つのマグネトロンと2つのターゲットアセンブリ、各ターゲットアセンブリの独立したまたは組み合わせたアンプ、熱スパッタリング用のチューブチャンバー、オプションのストレージチャンバー、およびインテリジェントな診断システムが装備されています。VARIAN 3180は、誘電体、金属、半導体、強磁性、絶縁材料など、幅広い材料を堆積することができます。光学・電気材料の成膜、保護膜、ケミカルエッチング、設計変更用エッチングなど、さまざまな用途に対応できます。一定の電源、各カソードへの電力の調整、および目標温度制御により、このユニットは高品質のフィルムの堆積を最適化することができます。3180は、3つのチャンバー壁を持つ6インチの直径チャンバーで構成されており、それぞれにマルチスリットコリメータが付いています。上の壁は基質の材料の沈殿を可能にします、底の壁は部屋を避難するのを助け、中間の壁はターゲットの縦の整列を助けます。チャンバーには独立したヘリウムパージとダブルクリックが装備されており、プロセス中の酸素濃度を低下させます。0。001 mbarから1。3 mbarまでの蒸着中の圧力を連続的に変化させる機能は、プロセスパラメータを正確に調整し、蒸着速度、膜厚、基板の均一性を最適化するのに役立ちます。また、可変電力、ターゲット温度制御、基板回転など、幅広いプロセス制御技術を提供し、フィルム性能を向上させています。統合されたPCベースのコントローラは、豊富なレシピストレージ、プロセスモニタと制御、リアルタイム診断制御、データロギング機能を提供します。さらに、コンピュータ制御の基板位置決め機は、正確な基板位置を保証します。VARIAN 3180には、膜厚測定用の4回転水晶モニターと、沈着プロセスのリアルタイム監視用のin-situおよびex-situ反射測定ツールがあります。また、コーティング前にサンプル部品を洗浄するための超音波バス、電気伝導率測定のための水晶セルを備えています。全体として、3180は1つのモデルで最も効率的な成膜、エッチング、およびイオンミリング機能を提供し、幅広い用途に適しています。その特徴は、高いスループットで高品質と均一性を有するフィルムの制御成膜を可能にします。