中古 VARIAN 3180 #9237469 を販売中

VARIAN 3180は、半導体分析、マイクロエレクトロニクス製造、金属蒸着などの産業および研究用途向けに設計されたプレート型スパッタ装置です。このシステムは、真空チャンバー、電源、制御ユニット、および複数のスパッタ源で構成されています。チャンバーはステンレス製で、直径約1090mm、高さ1820mmの円筒形をしています。スパッタソースと他のコンポーネントを接続できる上部にフランジを備えています。チャンバーには一連のビューポートも装備されており、ユニットの動作中に直接観測することができます。電源は、最大24。6kWのスパッタリング電力を生成できる高電圧、高周波発電機です。これは、DC-DCコンバータを介してチャンバに接続され、さらに電源入力を調整し、安定した動作を確保します。さらに、いくつかの安全機能があり、機械が過負荷にならないようにして保護されたままです。スパッタ源は、放電が適用されるさまざまな材料で作られた一連の小さなターゲットです。この放電は物理的なスパッタリングを引き起こし、処理される基板上に粒子が堆積する過程を引き起こします。コントロールユニットはデジタルコンピュータで、他のコンポーネントの動作を制御するための具体的な指示がプログラムされています。これは、プロセスに影響を与える電圧、電流、スパッタリング時間、およびその他のパラメータを設定することができ、将来の実行のためにこれらのパラメータを繰り返すようにプログラムすることができます。また、監視やツールのリモートコントロールのためのリモートコンピュータに接続します。全体として、3180は信頼性が高く効果的なスパッタリング資産です。堅牢なチャンバー、強力な電源、および洗練されたデジタル制御ユニットを備えたこのモデルは、産業および研究用途に最適です。スパッタ源の多様性により、基板にほぼすべての材料を堆積させることが可能となり、さまざまなニーズに柔軟に対応できます。