中古 VARIAN 3180 #9198797 を販売中

VARIAN 3180は、中規模・大規模研究開発および商業用途向けに特別に設計された高性能スパッタリング装置です。システムには、イオン源、真空ポンプ、コントローラ、電源、およびロボットアーム付き基板ホルダーが含まれています。ユニットのイオン源は、チャンバー内に高真空を作り出し、また多数の窒素イオンを作り出すように設計されています。イオン源は正イオンと負イオンを生成することもできます。真空ポンプは、チャンバー内の圧力を維持し、基板ホルダー上の圧力を低減するために使用されます。コントローラーは機械の圧力、流れおよび他の変数を制御するのに使用されています。3180は、最大8 kWのRF電力と最大400〜600ワットのDC電力を提供できる高圧電源も備えています。この電源は、スパッタリング処理を容易にするチャンバー内に電界を作成するために使用されます。基板ホルダーは、最大4つの基板を保持し、基板と基板のスパッタリングのためにそれらを動かすことができる回転アームです。ロボティクスアームは、異なるスパッタリング技術のためにチャンバー内のさまざまな位置に基板を移動するようにプログラムすることもできます。全体として、VARIAN 3180は、中規模および大規模な研究開発および商用アプリケーションのための信頼性が高く、高効率なツールです。このアセットは、さまざまなスパッタリング技術を提供し、幅広い基板や材料を処理することができます。その高い電源は一貫した、信頼できる結果を保障し、コントローラーはスパッタリングのプロセスを簡単、簡単にします。