中古 VARIAN 3180 #9144934 を販売中

VARIAN 3180
製造業者
VARIAN
モデル
3180
ID: 9144934
ウェーハサイズ: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3180は、基板上の材料の薄膜を生成するために設計されたスパッタリングシステムの一種です。このシステムは、最適な精度、柔軟性、およびパフォーマンスを提供する特別な機能を備えた優れた汎用性を提供します。電子ビーム源を利用して、対象物質を基板上にスパッタするために強い電子ビームを作り出します。スパッタリングプロセスは、最初にサンプルをカセットにロードし、次にターゲット材料をスパッタ源に配置することによって動作します。3180は、シリコン、酸化インジウム、ヒ素ガリウム、石英などの幅広い基板材料に対応できます。試料と標的材料がロードされると、標的材料に強力なRFマグネトロン信号が印加され、標的材料からの荷電粒子のビームで試料の表面に衝撃を与えます。この衝撃により、材料は基板上にスパッタリングされ、材料の薄膜が形成されます。VARIAN 3180は、優れた制御と精度で基板上に材料をスパッタすることができ、フィルムの厚さと組成を制御するカスタマイズ可能な方法を可能にします。これは、デバイスのソフトウェアに含まれる周波数、電力、およびパルス設定の範囲によって達成できます。さらに、異なる材料の複数の層を正確にスパッタリングすることができるため、太陽電池、液晶、光検出器、ディスプレイなど、さまざまな光電子部品の製造に使用できます。全体的に3180は、幅広い基板上に望ましい材料と厚さの薄膜を正確にスパッタリングする優れたツールです。これは、従来のスパッタリングシステムよりも高い精度と制御を提供し、研究および産業における幅広い用途に最適です。
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