中古 VARIAN 3180 #9131926 を販売中

VARIAN 3180スパッタリング装置は、金属、合金、絶縁薄膜成膜用の汎用ツールです。静電容量結合マグネトロンスパッタリングを利用し、均一で離散的なフィルム成長のために最大3つのマグネトロンの独立したプロセス制御を備えています。その3軸ロボットオートメーションは、8インチまでの基板サイズからの完全なサンプルアクセスを可能にします。3180システムは手動でまたはさまざまな材料を沈殿させるためにコンピュータと制御することができます。このユニットは、RF電源とスパッタガンアセンブリ用のデュアルチャンバー設計を提供します。3。0 kWまでのRFエネルギーを利用し、非常に厚いフィルムの堆積を可能にします。VARIAN 3180はまた、多層構造を作るための混合物と独立したスパッタ率の無制限の選択肢を持っています。高度なプロセス制御技術には、反応スパッタリング用のガス混合機が含まれています。高精度な圧力制御により、均一で高速なメディア配信を実現します。3180は、バルク沈着とパターン沈着が可能です。デジタルプログラマブルアタッチメントにより、絞りの微調整が可能です。それに沈殿のためのよりよい標本の表面条件を提供する統合された前洗浄の設備があります。真空インターロックツールは、圧力調節と真空センシングを可能にします。VARIAN 3180には、緊急時に備えてオンボードの電源障害資産もあります。3180に優秀なフィルムの均等性、作り付けのフィルムの排水および滑らかなフィルムのプロフィールによって高められる優秀なステップカバレッジのような多くの利点が、あります。その堅牢な構造は、長年の耐久性のある性能を保証し、その正確な制御により、非常に耐性のあるフィルム層を堆積することができます。操作モデルはユーザーフレンドリーで、装置の状態と成膜プロセスに関する正確なフィードバックを提供します。また、汎用性の高いデータロギング機能を備えており、ユーザーはスパッタリングプロセスの進行状況を監視することができます。結論として、VARIAN 3180スパッタリングシステムは、高度なプロセス制御技術と汎用性の高い設計により、薄膜成膜のための強力なツールです。優れたフィルム均一性、耐久性、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、ナノテクノロジー業界やその他の関連分野のユーザーにとって魅力的です。