中古 VARIAN 3180 #9105796 を販売中

製造業者
VARIAN
モデル
3180
ID: 9105796
ウェーハサイズ: 4"
Sputtering system, 4" CTI8 Cryo pump included.
VARIAN 3180は、精密蒸着プロセスを目的とした高度なスパッタリング装置です。このシステムは業界で最も人気があり、最高の機能を提供しています。高い成膜率、正確なプロセス条件に対する優れた制御、さまざまな用途に必要な柔軟性を備えています。3180は、シングルチャンバー、デュアルターゲット、回転可能な陰極スパッタリングユニットを提供します。このスパッタリング機械は高度のレベルの特徴が装備されていて、信頼でき、一貫した沈殿を保障するために高精度を提供します。プロセスパラメータを正確に制御できるため、蒸着速度、ガス圧力、マグネトロンサイズ、ガス流量、および電圧/電力を正確に調整できます。これにより、個々のアプリケーションごとに必要に応じてプロセスパラメータを調整し、毎回品質の高い結果を得ることができます。このツールはまた、信頼性の高い正確な堆積結果を保証する最先端の計測機器を備えています。これには、光熱/冷却装置、センターイオン銃、温度制御とフロー制御の両方を備えたベースプレッシャーゲージが含まれます。また、フィルム厚の精密測定用の超精密レーザー光度計も付属しています。これにより、環境や基材に関係なく一貫した成膜結果が保証されます。さらに、VARIAN 3180が提供する柔軟性のレベルは比類のないものです。金属、セラミック、ポリマー、ガラスなど多くの基板と互換性があります。この柔軟性により、ユーザーはアプリケーションに適した材料を選択でき、堆積プロセスが望ましい結果をもたらすことができます。さらに、チャンバーは、蒸着領域に均一な生産環境と一定の圧力を提供するように設計されています。全体として、3180スパッタリングアセットは高度な機能と機能を備えているため、半導体の接点や薄膜トランジスタから光学ディスプレイやセンサーまで、多様なアプリケーションに最適です。最先端の精密制御、柔軟性、精密計測装置により、様々な蒸着プロセスに最適です。
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