中古 VARIAN 3180 #9077094 を販売中

VARIAN 3180は、超高純度で反復可能な結果を得るために設計された高性能スパッタリング装置です。それは優秀なプロセス制御および稼働時間を提供する密集した、信頼でき、強いシステムです。このユニットは、3つの独立したソース、3つのターゲット、中周波動スパッタリングチャンバー、独立したツインターゲット、低周波動力スパッタリングチャンバー、および制御および電源ユニットで構成されています。独立したツインターゲットスパッタリングマシンは、最適なプロセス制御と基板上の薄い金属膜の堆積における優れた均一性を提供します。低周波パワーと制御ユニットは、安定した堆積を達成するために必要なパラメータを正確に制御します。3ターゲット構成により、優れた均一性を持つ多層金属およびカルム成膜が可能です。独立したスパッタリングチャンバーは、アプリケーション固有の機能の面で柔軟性を提供します。3180の電源は中間周波数AC電源で、一般的な低周波DC電源よりも高い電力と均一性を提供します。3ターゲットコンフィギュレーションは、ターゲットのパワーを最大限にコントロールし、ターゲットごとにフィルム特性を正確に調整できるため、再現性とプロセス制御が可能です。チャンバー自体は、ユニークなセラミックウォールライナー技術を提供しており、表面全体に均一な堆積を保証し、優れた均一性をもたらします。また、粒子の干渉を排除し、均一性を高めます。制御および電源ユニットは、業界標準のユーザーフレンドリーなプロセス制御を可能にし、一貫した均一なフィルム成膜と再現性を確保します。また、包括的な安全機能と包括的な診断およびプロセス監視機能を備えています。VARIAN 3180は、最高レベルのプロセス制御と稼働時間を提供する、信頼性の高い汎用性の高いツールです。それは優秀なプロセス制御および簡単さを提供する信頼でき、反復可能で、信頼できるスパッタの沈殿資産です。薄膜成膜に最適で、小規模及び大規模生産用途に最適です。