中古 VARIAN 3180 #9038465 を販売中

VARIAN 3180は薄膜成膜用に設計されたスパッタ装置です。それは保護コーティング、光学コーティング、真空の金属化および他の形態の表面工学のような適用のために設計されています。スパッタリングシステムは、厚さ2ミクロンまでの材料の層を堆積することができます。これは、ユーザーのニーズを満たすために様々な構成で配置することができ、4つの単一のターゲット成膜チャンバーを持っています。システムには、ターゲットのエネルギーを制御するための6方向電源制御が含まれています。また、精密な蒸着とフィルムの均一性を実現する9軸モーションコントロールも備えています。このユニットには、PLC制御の安全扉や緊急停止など、さまざまな安全機能が装備されています。すべてのコンポーネントは、安全性と環境適合性のためのUL認証を取得しています。このマシンは、VARIAN直流マグネトロンスパッタリング（DCMS）ソースを搭載しており、優れた均一性と再現性を備えた大規模なフィルム堆積面を生成することができます。このツールはまた、高い電源を備えており、迅速なサンプルスパッタリングと高い生産性を可能にします。このアセットには、特殊蒸着源、高密度ターゲット、蒸着解析モジュールなど、さまざまなアクセサリが含まれています。統合されたソフトウェアパッケージにより、堆積プロセスの高度なリアルタイム監視が可能です。また、最大10-8 torrの真空能力を備えており、最大4時間の連続動作が可能です。3180は汎用性と強力なスパッタリング装置です。4つの蒸着チャンバ、9軸モーションコントロール、統合ソフトウェアなどの機能を備え、さまざまな用途に対応できるよう設計されています。UL認証の安全評価により、このユニットは信頼性の高い高品質の堆積結果を提供することができます。