中古 VARIAN 3180 #9036780 を販売中

VARIAN 3180スパッタリング装置は、物理蒸着（PVD）プロセスで使用される高度な装置です。真空環境で様々な基板に非常に薄い導電性材料を生成することができるマルチカソード方式です。このユニットには、超高真空圧力（UHVP）チャンバー、リニアドライブ、および蒸着パラメータを正確に制御するシャッターアセンブリが装備されています。3180はACモードとDCモードの両方を提供し、さまざまな条件下でさまざまな材料を効率的に堆積させることができます。このマシンにはさまざまな電源が装備されており、並列または連続カソードの使用と層厚の正確な制御が可能です。蒸着チャンバを含むサブシステム、前述のシャッター、およびリニアドライブを個別に制御することができ、PVDプロセスを特定のニーズに合わせて調整することができます。60〜10〜5 torrの高性能圧力コントローラにより、効率的で制御性の高い薄膜蒸着が可能です。この大型ドライブは、25〜500°Cの精密な線形温度制御を提供し、異なる材料の効率的な成長を可能にします。陰極はサイクルにプログラムすることができ、高い沈着率を提供することができます。VARIAN 3180は、長期的で信頼性の高い操作を可能にする堅牢な機械設計を備えています。このツールは、DiagnosticとTestアセットとAutomatic Test Managerを備えており、指先の精度でモデルコンポーネントの診断を可能にします。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、異なる操作を設定し、プロセスを監視するように設計されています。3180は、非常に薄い導電性材料を高精度で正確に製造するための効率的で信頼性の高い方法です。UHVP圧力制御、リニアドライブ、サブシステムを個別に制御および監視する機能など、さまざまなアプリケーションに合わせた機能を提供します。幅広い業界のPVDプロセスに最適な機器です。