中古 VARIAN 3180 #9033671 を販売中

VARIAN 3180スパッタリング装置は、金属の薄膜を異なる表面に堆積させるために使用される超高真空プラズマ応用機です。これは、薄膜をより速く、より確実に、そして今日市場で入手可能な他のスパッタリングシステムよりも優れた一貫性で堆積する能力を備えた最先端の機械です。この超高真空スパッタリングシステムは、電界を利用し、マグネトロンスパッタリング技術を使用して、さまざまな材料に超薄型、高品質の金属膜を堆積させます。このユニットは、2つのRF電源を使用して、フィルムの堆積のために最大3つの平面マグネトロンスパッタ源に電力を供給します。3180はまた、追加の材料または複数の層の堆積のために最大2つのダイオードソースを収容することができます。ソースマグネットアセンブリを使用すると、真空チャンバー内の拡張磁場が可能になり、スパッタリングプロセスを制御できます。VARIAN 3180は、真空チャンバーの背後にある中央のオープンプラットフォームに3インチ×3インチの基板ホルダーを備えています。この基板ホルダーは、様々なサイズや形状のサンプルを確実に配置して成膜することができます。また、高温基板の使用をサポートし、任意の基板のサイズと形状に合わせてカスタマイズすることができます。さらに、3180には薄膜の最適な成膜を可能にする基板回転機が付属しています。VARIAN 3180はマルチチャンバーイオンゲージを備えており、最も厳しい真空レベルで薄膜を堆積させることができます。低電圧、積極的に冷却されたターボ分子ポンプは、5 x 10-9 torr未満の基圧まで真空レベルをもたらします。3180のオートメーション制御ツールは、プロセス監視を可能にし、必要に応じてさまざまなプロセスサイクルをプログラミングできます。全体として、VARIAN 3180は高度で信頼性の高いスパッタリングアセットであり、さまざまな基板上に高品質で超薄型の金属膜を作成するのに役立ちます。その洗練された真空モデルとオートメーションコントローラは、より速く、より信頼性の高いスパッタリング結果を求める人に理想的な選択肢です。