中古 VARIAN 3180 #83199 を販売中

VARIAN 3180は研究および産業適用で広く使用される理想的なスパッタリング装置です。デュアルソースのパラレルクラスタスパッタシステムで、大きなチャンバーサイズでウェーハまでの距離を最小限に抑えた高速蒸発を可能にします。このユニットには、2つの独立した物理蒸着源が含まれています。垂直方向のソースを傾けることができ、水平方向のソースを垂直方向に配置することができます。この革新的な配置により、スパッタリングの最適な速度と均一性が保証され、機械を正確に調整して優れた制御と信頼性を得ることができます。3180スパッタリングツールの出力は非常に安定しており、最大5〜6 nm/minのスパッタレートで評価されています。この資産はまたそれをいろいろ適用のために適したようにする望まれる材料をスパッタすることができます。金属からセラミックス、抵抗膜、誘電膜まで幅広いスペクトル範囲の材料を堆積することができます。モデル自体は主要な部品への容易なアクセスのために設計されています。チャンバーにはフルレングスのサイドドアがあり、簡単にアクセス、監視、および機器のクリーニングを行うことができます。部屋はまた2つの独立したスパッタ源を特色にします；2つのフィードスループット、2つのシャッター付き空気圧ポート、および超低真空機能を備えた動的内部シャッター装置。チャンバーの設計も最小限の乱流と最適な蒸着の均一性のために高度に最適化されています。このシステムには、プロセス制御の自動化、コンピュータシミュレーション、データ収集が含まれており、目的のプロセスに対して簡単にプログラムすることができます。外部コントロールコンピュータは、無人の操作とデータ転送を可能にします。温度範囲は+10°C〜+40°C、相対湿度は0％〜50％など、幅広い環境条件に対応しています。VARIAN 3180は、信頼性の高い高性能スパッタリングユニットを必要とする方に最適です。機械の性能は薄膜、誘電体および耐久力のある研究、マイクロエレクトロニクス装置および他の多くの研究および産業適用のために完全です。