中古 VARIAN 3180 #83197 を販売中
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ID: 83197
ウェーハサイズ: 4"
Sputtering system, 4"
(2) Conmag targets
Mini quantum target
Pre-heat / Degas station
EUROTHERM 808 Backside wafer heater
Tiw station shielding to prevent particle contamination
Source isolation shielding to prevent particle contamination
Backside air system replaced with NUPRO iso valves and VCR connections
DC Power supply remote meter, digital
(2) Wafer cassettes, 4"
Standard VARIAN controller
VARIAN 919 IG Controller
FLUKE 1722A Process controller with SD card reader to replace floppy drive
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A Multimeter
MKS 250B Gas controller with MKS 248 valve assembly
(3) Gas systems with MKS MFC and 247 controller
VARIAN 880 Ion gauge controller
CTI CT-8 Cryo pump with compressor
VARIAN Cryo temperature monitor
LEYBOLD D-30 Mechanical pump
(3) ADVANCED ENERGY MDX DC Power supplies
PLASMATHERM 1000W RF Generator
Handling system with etcher, 4"
10 kW Power supply for Cu
5 kW Power supply for Tiw.
VARIAN 3180は、フィルム成膜、コーティング、表面処理など、さまざまな用途向けに設計されたマルチターゲットDCマグネトロンスパッタリング装置です。このスパッタリングシステムは、磁場を使用して、基板上に薄膜を堆積させるために使用されるエネルギーイオンを作成します。このユニットは、最先端の制御ソフトウェアとハードウェアを備えており、正確で反復可能なプロセス結果を提供できます。3180は、統合された、低保守の二重プラズマイオン源を備えています。これは、従来のプラズマ源よりも多くの利点を持っています。特徴はまた達成されるフィルムの良質が一貫した、反復可能であることを保障します。DCマグネトロンスパッタリングマシンには、統合された堅牢なハイレート電源が搭載されているため、市販の他のシステムよりも高い蒸着速度を実現できます。これにより、プロセスのサイクル時間が短縮され、プロセスの再現性が向上します。このツールは、特定の材料特性の要件を満たすように設計されたさまざまなスパッタリングターゲットを提供します。ターゲットは耐久性があり、長期的な信頼性と性能を提供するように設計されています。このアセットには、引き込み式のカーボンおよびグラファイト陰極もあり、幅広い基材をモデルに使用し、優れた品質の結果を提供することができます。VARIAN 3180は、VARIAN マルチターゲットDCマグネトロンスパッタリング装置保証にも裏付けられており、正常な使用中に故障した場合にシステムのコンポーネントを保護します。この保証は単位のサイズおよび特徴のレベルに基づいて計算されるわずかな料金の費用で来ます。3180の制御ソフトウェアはユーザーのカスタマイズのための選択の広い範囲を提供します。ユーザーはマシン設定をカスタマイズして、ターゲットのサイズ、形状、位置、位置、および現在の設定とバイアス設定を制御できます。また、カスタムレシピやプログラムを作成できるため、ユーザーは処理条件を迅速かつ正確に複製することができます。全体として、VARIAN 3180は、高品質で費用対効果の高い信頼性の高いスパッタリングツールをユーザーに提供します。デュオプラズマイオン源、堅牢なハイレート電源、および幅広いスパッタリングターゲットにより、薄膜の材料を優れた再現性を持つ幅広い基板に堆積させることができ、制御ソフトウェアとハードウェアはユーザーに豊富なユーザーコントロールオプションを提供します。この資産は、VARIAN マルチターゲットDCマグネトロンスパッタリングモデル保証によって裏付けられており、通常の動作中に損傷が発生した場合にコンポーネントがカバーされることを保証します。
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