中古 VARIAN 3180 #69386 を販売中

VARIAN 3180は、幅広い用途に最適なコーティング性能を提供する高性能スパッタリング装置です。このシステムは、180nm/minまでの高い蒸着速度と優れたカバレッジを実現できるDCマグネトロンスパッタユニットで構成されています。スパッタコーティングは、高出力の直流（DC）磁石、蒸着チャンバー、真空機を含むプロセスです。マグネトロンスパッタツールは、厚さや表面品質などの堆積物の特性を究極的に制御します。3180は、資産内のすべてのプロセスを制御できるPLCDAQソフトウェアによって制御されます。ソフトウェアはまた、ユーザーがスパッタコーティングプロセスのソース材料、チャンバジオメトリ、プロセスサイクル、および他のすべてのパラメータを選択することができます。さらに、ソフトウェアは、より速い起動時間を容易にし、ユーザーの利便性を高めるために、モデルで使用されるすべてのレシピを保存することができます。VARIAN 3180は、効果的なスパッタコーティングに重要ないくつかのコンポーネントで構成されています。例えば、機器のチャンバーには、汚染、摩耗、および物理的損傷に対する優れた保護を提供する長寿命ライナーが装備されています。さらに、このチャンバーは優れたガス密度を提供し、大気プロセスと高真空プロセスの両方に対応することができます。このチャンバーは、優れた均一性を提供し、影のない基板の均一なコーティングを可能にします。RF駆動イオンビーム源は、熱蒸発よりも均一で高い速度で基板加熱を提供します。高電圧駆動のRF駆動イオン源は、蒸着速度をさらに高めることができます。スパッタソースは、ターゲット材料の改善されたイオン爆撃を確実にするために調整することもでき、結果として性能が向上し、スパッタコーティングの品質が向上します。3180はそれを優秀なスパッタリングシステムにさせる利点の広い範囲を提供します。それは優秀な適用範囲、信頼でき、安定した操作および優秀な速度および均一性の優秀なコーティングの性能を提供します。さらに、このユニットは高度にカスタマイズ可能であり、さまざまなチャンバー形状やソース材料に対応することができます。そのため、VARIAN 3180はさまざまな産業および科学的用途に理想的であり、優れたコーティング性能に必要な信頼性、速度、精度を提供します。