中古 VARIAN 3180 #293828248 を販売中

VARIAN 3180は、さまざまな基板に薄膜を堆積させるために使用されるスパッタ装置の一種です。それは優秀なプロセス制御、容易なシステム統合および優秀なフィルム厚さの均等性を提供するように設計されています。3180ユニットは、半導体ウェーハ、セラミック基板、薄膜デバイスなど、さまざまな基板を取り扱うことができます。これは、2つの無線周波数（RF）電源、スパッタリング用の13。56 MHzソース、および基板バイアス用の13。56 MHzマッチングソースを備えています。また、アルミニウム、金、銅、クロム、ニッケルなどの幅広いターゲット材料を備えています。また、イオンエッチングにも使用でき、様々な薄膜成膜用途に使用できます。VARIAN 3180工具の真空チャンバーはステンレス製で、直径6〜6インチまでの排出量があります。そのタイトな真空は、1x10-7 Torr未満のベース圧力を与え、最大動作圧力は6x10 Torrです。3つの独立したプロセスチャンバー構成で設計されており、同じチャンバ内で最大4つのマグネトロンを構成することができます。3180アセットは、リアルタイムユーザーフィードバック、プロセスレシピ管理機器、完全に統合されたリアルタイムプロセス分析システムを備えたプロセス監視および制御モデルなど、さまざまなユーザーフレンドリーなソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントで設計されています。その高度なクーラントユニットは、効率的な電力消費とチャンバー温度の高速制御を可能にします。統合された冷却剤の循環は自動的に部屋の温度を調整します。このマシンは、接着および接着の問題を最小限に抑えるように設計されており、クローズドループのフィードバックツールを内蔵した自動プロセス制御を備えています。VARIAN 3180アセットは、優れたプロセス制御、容易なモデル統合、優れた膜厚均一性により、さまざまな薄膜蒸着用途の幅広い基板に対応できます。高精度の薄膜成膜を必要とするあらゆる用途に最適です。