中古 VARIAN 3180 #293827838 を販売中

VARIAN社が製造したVARIAN 3180スパッタリング装置は、平らな基板に均一な薄膜コーティングを施すオールインワンの汎用性の高いシステムです。これは、金属、合金、酸化物、および誘電体を含む幅広い材料をコーティングできるため、マイクロエレクトロニクス、エネルギー貯蔵、ディスプレイなど、さまざまな業界の研究開発に最適です。このユニットは、ベースユニットと、イオン源、パルス電源、ガスフィードマシン、スパッタチャンバーなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。イオン源は、RFまたはDCのグロー放電を使用して、スパッタされた原子種を特定の方向に向ける正または負のイオンビームを作成します。パルス電源は、パルス速度とパルス幅を制御するために使用され、フィルムの成長速度を最適化するのに役立ちます。ガスフィードツールは、アルゴン、O2、 Ar-O2、またはN2混合物などの反応ガスを注入するために使用されます。これにより、スパッタ材料の機械的および化学的接着性が向上し、基板上の粒子からの汚染が低減されます。スパッタチャンバーは高真空条件を実現することができ、基板へのコーティング材の安定した均一な蒸着が必要です。基板ホルダーはサンプル交換用に電動化され、簡単に再配置できます。このアセットはまた、ビームの温度、方向、パターン、スパッタ沈着率、およびRF電力に関連する幅広い制御パラメータを提供します。チャンバーの圧力とガスの流れを監視および制御することも可能です。3180スパッタリングモデルは、基板上の望ましい材料の均一な膜を得るために、優れた均一性と再現性を提供します。自動化されたスパッタガンを搭載し、優れた膜厚均一性とランニング・ツー・ランの再現性を提供します。基板全体の膜厚の均一性は+/-0。2 μ m以内、サンプル全体の典型的な均一性は+/-0。5 μ m以内です。これにより、基板が目的の材料で最適にコーティングされていることが保証されます。VARIAN 3180スパッタリング装置は、薄膜蒸着のための信頼性が高く、使いやすく、効率的なシステムです。ユーザーは、高い歩留まりと一貫した品質の基板に均一なコーティングを適用することができます。市場で最も信頼性が高く柔軟なスパッタリングシステムの1つであり、幅広い研究開発アプリケーションに最適です。