中古 VARIAN 3180 #293759318 を販売中
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ID: 293759318
ウェーハサイズ: 4"
Sputtering system, 4"
Generator
CT-8 Cryopump
8500 Compressor
DC Bias heater
Euro 808 Heater controller
Water pump.
VARIAN 3180は、物理蒸着（PVD）プロセス用に設計されたスパッタリング装置です。これは、さまざまな基板上で優れた均一性を持つ薄膜コーティングを作成する機能を提供します。3180に3つの20インチのプロセス管が同じ真空の部屋、負荷ロックおよびプロセス制御システムを共有しています。各チューブは個別に設計されており、最大3つのターゲット位置にさまざまな材料を収容できます。これにより、ターゲット材料の厚さ、層の構成、層の厚さ、およびエッチングプロファイルの面で最大限の柔軟性が可能になります。均一性を確保するために、パルスRF電源をユニットと一緒に使用でき、プロセス管理と最適化されたレイヤ特性を正確に行うことができます。VARIAN 3180には、蒸着したフィルムの最大限の均一性を確保するために、均一な真空環境を作成するための可変速度、変更拡散ポンプ機も含まれています。さらに、効率的で信頼性の高い操作のために、2つのイオンポンプ、2つのクライオポンプ、およびターボポンプがサポートされています。このツールには安全設定も多数あり、どのような実験室環境でも安全かつ適切に使用できます。3180には、オペレータフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も付属しています。GUIは、適切な設定やプロセスに役立つ技術データを表示し、オペレータがプロセスパラメータを監視および変更し、レシピのステータスを確認し、自動化されたモードで動作し、事前設定されたレシピを保存して堆積手順をスピードアップすることができます。全体的に、VARIAN 3180スパッタリングアセットは、正確な層厚分布を持つ高品質のコーティングを製造するための理想的なツールです。3つのターゲットに対応し、1隻につき3つの基板を同時に積み込むことができるため、迅速な蒸着速度と最高レベルの蒸着品質を実現できます。自動化された制御、広範なプロセス能力、そして容赦ない性能により、3180は最新の研究および生産設備に理想的なソリューションとなります。
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