中古 VARIAN 3180 #293746467 を販売中
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VARIAN 3180は、さまざまな薄膜成膜用途に使用するために設計された洗練されたスパッタリング装置です。3180は、真空アークとリアクティブスパッタリングシステムの両方を含む様々なフォーマットで、堅牢なスパッタリングプロセスと高性能の蒸着技術を提供します。その統合されたオートメーションとタッチスクリーンユーザーインターフェイスは、操作を簡素化し、さまざまなユーザーの好みをサポートします。VARIAN 3180は、高度な薄膜蒸着プロセスのニーズを満たすように設計されており、優れたスパッタリング効率、最適化されたターゲット使用率、非常に安定した性能を提供します。3180は、高度な光学結合、6軸ロボット搭載電源、および高効率の基板コーティングのための水平マウントRFマグネトロン電子ビームガンを備えています。成膜制御用の統合シャッターアレイ、基板保護用の統合破断検出システムも含まれています。VARIAN 3180のモジュラー設計により、同じユニット内で最大3 × 2の成膜要素の柔軟なフォーマットが可能になり、お客様はツーリング構成を地理的に構成することができます。3180は、薄膜トランジスタ（TFT）、太陽電池、先進半導体デバイスなど、さまざまなハイテク薄膜蒸着アプリケーションをサポートするように設計されています。メタライズ、ウェーハバンピング、MEMS、ナノワイヤ、薄膜成膜など、幅広い半導体プロセスに最適なプラットフォームです。VARIAN 3180は直径200mmまでの基板をサポートし、最大300Wの電力で一貫して実行できます。これは、再現性と信頼性の高い機械操作のための統合された真空チャンバーが付属しています。さらに、3180には、自動化とユーザーコントロールのための包括的なソフトウェア機能が含まれています。その中には、リアルタイムの自動プロセス監視とレポート、プログラム可能なジョブスケジューリングとタスクシーケンス制御、レシピ制御、強力なグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。このソフトウェアは柔軟性を念頭に置いて設計されているため、技術者は既存のプロセスと新しいユーザー設定を簡単に統合できます。VARIAN 3180は、リモートコントロールと安全なデータストレージへのアクセスも提供します。要約すると、3180は柔軟性と高度な薄膜蒸着アプリケーションを念頭に設計された高性能スパッタリングツールです。統合されたオートメーションとタッチスクリーンユーザーインターフェイスにより、操作がシンプルかつ効率的になり、モジュール設計と包括的なソフトウェアパッケージにより、VARIAN 3180はさまざまな薄膜蒸着プロセスに最適です。
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