中古 VARIAN 3180 #293629517 を販売中

VARIAN 3180は、業界および研究アプリケーションで使用される高度なスパッタリング装置です。高レートスパッタリングと再現性を提供し、独自のデュアルマグネトロン設計を備えています。3180は、統合された垂直ターゲット負荷を利用して、オフライン操作を排除することでスループットを向上させます。さらに、その3ゾーンターボポンプ構成は、最適な蒸着のためにスパッタチャンバー内の圧力を均等に維持するためにソースを自動的に切り替えることができます。従来のスパッタ法の2倍のスパッタ率を実現し、工業生産における超高蒸着率を実現します。また、低温プロセスの0-12,000C範囲があり、基板温度の広い範囲にわたって壊れやすい材料を堆積させ、熱応力関連の損傷を軽減することができます。VARIAN 3180は、ウェーハから8インチディスクまで、さまざまな基板サイズに最適です。ロードロックと静電ウェハチャックを標準装備し、光学およびRF診断システムなどの他のコンポーネントと簡単に統合して機能を拡張できます。ユニガン技術を活用することで、3180はプロセスの再現性を大幅に向上させ、基板全体の優れた均一性を保証します。このアドバンススパッタユニットは、ハイレート同軸モードとローレートのデュアルマグネトロンモードの両方を備えています。高レートモードは密着性とカバレッジ性が高く、密着性は無く、高密度コーティングが可能です。最後に、VARIAN 3180には最新のオートメーション機能が搭載されており、リアルタイムのプロセス制御、監視、トラブルシューティングを提供します。これにより、オペレータは、任意の場所からスパッタリング手順をリモートで制御、診断、および最適化することができます。全体的に、3180は産業および研究の適用の両方のための優秀なスパッタリング機械です。高レートスパッタリング、低温動作、および優れた均一性を提供し、多くの業界にとって貴重なツールとなっています。