中古 VARIAN 3180 #172350 を販売中

VARIAN 3180スパッタリング装置は、幅広い材料の優れた薄膜成膜を提供するために特別に設計された最先端の装置です。イオンと中性粒子の組み合わせを使用して、定義された薄膜層をターゲット基板に堆積させます。3180には超広い堆積範囲があり、スパッタ堆積プロジェクトのほぼすべてを処理できます。この範囲は、ハイパワーとパルスの両方の電源によって達成されます。高い発電源は、合金、酸化物、および金属の厚い層を堆積するように特別に設計されています。パルス電源は、薄膜厚のバリエーションで複数の層を堆積させるために必要な精密制御を提供します。このシステムには、統合された調整可能な磁場が装備されており、大小の領域の基板上に方向スパッタを堆積させることができます。このユニットは非常に柔軟性があり、さまざまな形状や基板形状をターゲットに簡単に適応できます。VARIAN 3180はまた、優れたチャンバーとターゲット構成を誇っています。ステンレス製のチャンバーウォールは極めて滑らかで超高温性に設計されており、高出力スパッタ蒸着時の歪みを最小限に抑えるチャンバー環境を提供します。一方、3180のターゲットは、顧客指定のニーズに応じて構築され、ほぼ無限の成膜構成を提供します。VARIAN 3180の全体的なパフォーマンスは、高度なコントロールのスイートによっても支援されます。これらには、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと技術制御ソフトウェアが含まれており、時間の経過とともにパラメータを追跡することで最適なパフォーマンスを保証します。3180には、ロードロック、ターボポンプ、ピストンポンプ、自動圧力および温度制御、および強化された接続のためのリモートユーザーターミナルなどの標準機能も含まれています。結論として、VARIAN 3180スパッタリングマシンは、高出力とパルスパワースパッタ蒸着の両方が可能な高度な装置です。超広い蒸着範囲、調整可能な磁場、優れたチャンバー/ターゲット構成、高度な制御スイートにより、あらゆる材料に薄膜層を堆積させるのに理想的な選択肢です。