中古 VARIAN 3180 #143941 を販売中

VARIAN 3180は、高い蒸着率で最高の純度と均一性を実現する薄膜層を基板に堆積させるために設計されたスパッタリング装置です。DCおよび無線周波数電源構成、デジタル厚さ制御、アクティブ基板またはパッシブ基板冷却など、包括的な機能を提供します。温度制御エンクロージャには幅広いプロセスガスといくつかの内部ガス供給システムがあり、Planar MagnetronとTriodeの両方の構成で動作できます。3180には、リモートモニタリング機能や診断機能、同時に堆積するデュアルソース、Webベースの自動データストレージなど、いくつかのユニークな機能もあります。このスパッタリングシステムは、強力な150kWのDC電源と260kWのRF電源を含む、さまざまな電源とプロセスガスを利用することもできます。VARIAN 3180は、高度な電源システムに加えて、蒸着プロセスを正確に制御できる高度な制御ソフトウェアプログラムを採用しています。このユニットには10のプロセスガス入力ポイントと、各ガスタイプの独立したコントローラが内蔵されています。これにより、プロセスパラメータの精密な制御が可能になり、複数のガスタイプを利用することで、複数の層を一度に簡単に堆積することができます。ソフトウェアはまた、リアルタイムで重要なデータをキャプチャし、監視し、簡単なデータのトレンドと分析を可能にします。このツールには、統合されたリニアコンベア、シャトルローダー、高密度サンプルストレージ資産、ユニークなサンプルルーティングモデルなど、さまざまなサンプルローディングシステムも含まれています。また、10ミクロン以内の精度に調整可能な温度で、精密な温度制御を提供します。3180スパッタリング装置は、薄膜蒸着ニーズに対応する多目的で効率的で高スループットのソリューションを提供します。電源の選択を提供し、複数のインボード蒸着源、正確なプロセス制御、正確な基板温度管理を提供することにより、このシステムは最高品質の蒸着結果を保証します。さらに、高度な診断機能とリモート監視機能により、あらゆる場所からプロセス分析を簡単かつ正確に行うことができます。