中古 VARIAN 3180 / 3190 #9009369 を販売中

VARIAN 3180/3190は、マイクロエレクトロニクスや薄膜などの高精度アプリケーション向けに設計された高効率で信頼性の高いスパッタリング装置です。このシステムは、広範囲の表面および材料の高純度、低温および高速蒸着を生成することができます。スパッタ源は容易に作動し、沈殿プロセスの優秀な制御を提供します。このユニットはまた、結晶成長と異なる蒸着モードの選択を可能にする高温機能を備えています。3180/3190は、最大4スパッタ源を収容する直径60 cmのチャンバーを提供しています。チャンバーは、最大600°Cの温度範囲と10-7 torrの圧力を備えています。精密な蒸着のための均一な環境を維持する部屋に強制空気再循環機械が組み込まれています。このチャンバーには、プロセスの変化を検出するために大気環境を監視するin-situプロセス制御ツールも組み込まれています。8"および6"の直径で利用できるスパッタ源は12"までの基質をサイズで使用します。各スパッタ源には、ターゲット材料にアルゴンイオンを発射するマグネトロン源が装備されており、基板上の材料の保護層を形成します。ソースはまた、高レートの均一な堆積のために設計されているだけでなく、様々な追加のプロセス機能。アセットにはプロセス制御ソフトウェアも含まれており、カスタムプロセスレシピを必要に応じて作成および変更することができます。これにより、金属、合金、およびその他の材料の精密かつ反復可能な堆積が可能になります。また、蒸着プロセスを作成および監視することにより、スパッタリング源を高効率で使用することができます。VARIAN 3180/3190は、蒸着およびスパッタリング用途向けの信頼性の高い高効率モデルです。この装置の強力なスパッタ源、現場でのプロセス制御システム、およびプロセス制御ソフトウェアにより、さまざまな材料を高精度で再現可能な蒸着が可能になります。このユニットは、蒸着プロセスを優れた制御を提供し、マイクロエレクトロニクスや薄膜などの用途に最適です。