中古 VARIAN 3140 #9046098 を販売中

VARIAN 3140は、高度な材料沈着性能を提供できるスパッタリング装置です。それは完全に自動化されたプロセスであり、独立した、精密なデュアルゾーン真空チャンバーを利用しています。チャンバーは、広範囲の圧力および温度因子にわたって優れた真空整合性と優れた均一性を維持するのに役立ちます。このシステムには、基板表面に高品質の材料を送り出すことができる水晶噴出セルも装備されています。スパッタリングプロセスにより、金属、合金、複合材料など幅広い材料の成膜に適しています。3140マシンの主なコンポーネントは、2ゾーン真空チャンバー、真空ツール、電動マニピュレーター、ガス供給資産、水晶噴出セル、スパッタリング源です。モデルの中心は、デュアルゾーンのプロセス制御と均一性を可能にする2ゾーン真空チャンバーです。非常に効率的な真空装置の台座ポンプは常に部屋のきれいな環境を維持します。適用範囲が広いモーターを備えられたマニピュレーターは基質の容易なローディングおよび荷を下すこと、またスパッタリングプロセスのための基質の精密な位置を可能にします。強力なガスフィードシステムと水晶噴出セルにより、基板上に高品位な材料を高均一性で供給することができます。Quartz effusion cellは不純物を減らし、プロセスのよりよい制御を可能にするのを助けます。高速で高精度なスパッタソースにより、優れた均一性と優れたプロセス制御により、高いスループットレートを実現します。VARIAN 3140ユニットは、最も要求の厳しい生産要件を満たすために、高精度と柔軟性の両方を提供します。デュアルゾーンプロセス制御により、圧力と温度の全範囲にわたって優れた均一性を実現します。また、水晶噴出セルは、不純物を最小限に抑えて高品位の材料を堆積させるのに最適な環境を提供します。スパッタ源とガスフィードマシンは、優れたプロセス性能で高いスループットを実現します。さらに、電動マニピュレーターは、効率的な生産のための基板の迅速かつ簡単なローディングとアンロードを可能にします。