中古 VARIAN 3120 #9191951 を販売中

VARIAN 3120スパッタリング装置は、薄膜蒸着技術の世界ではっきりとした位置を占めています。金属、酸化物、窒化物、誘電体など様々な材料のエッチングやコーティングに特化して設計されており、優れた光学、電気、機械的特性の薄膜を生成します。このスパッタシステムは、デュアルマグネトロンソースチャンバー、平面スパッタチャンバー、基板ホルダーチャンバーの3つの独立したチャンバーを備えています。デュアルマグネトロンソースチャンバーは、平面スパッタリングと角度スパッタリングの両方を可能にするTEMタイプのデュアルマグネトロンソースを使用しています。平面スパッタチャンバーは、高いアスペクト比の特徴のスパッタリングを最適化するように設計された傾斜したマグソースを備えています。基板ホルダーチャンバーは、さまざまなサイズと形状の基板に対応できる調整可能なホルダーを備えています。3120ユニットにはユニークなロードロックマシンがあり、基板を素早く便利にツールにロードできます。負荷ロックのアセットは、薄膜コーティングの均一性を向上させるための非常に均一な圧力と温度制御を備えています。モデル全体は、ユーザーが多くの手間をかけずにパラメータやプログラムを設定できる直感的なコンピュータインターフェイスを使用してさらに制御されます。このスパッタ装置は、光学的に薄い透明な導電性酸化物層の製造や誘電バリア層の選択的堆積など、さまざまなスパッタ要件に最適です。VARIAN 3120には高度なエレクトロニクスも搭載されており、基板の温度、材料の流れ、その他のパラメータを正確に制御できます。また、緊急時にはユニットをシャットダウンする安全システムが内蔵されています。全体的に、3120スパッタリングマシンは、さまざまな材料の薄膜を堆積する際に比類のない柔軟性、利便性、および制御を提供します。これは、高品質のスパッタ蒸着ツールを探している科学者やエンジニアにとって、信頼性が高く費用対効果の高い選択肢です。