中古 VARIAN 3120 #9070954 を販売中

VARIAN 3120は、金属、プラスチック、ガラスなどの基板に薄膜材料を堆積させるために設計されたスパッタ装置です。それは酸化物、窒化物、炭化物、金属および金属合金のようなさまざまな薄膜材料の精密で、均一な沈着を可能にします。このシステムは、ベースユニット、絶縁された真空チャンバー、および多数のフル機能および相互接続されたサブシステムで構成されています。3120ベースユニットには、電源および制御モジュールが含まれています。ユーザーは、任意のスパッタリング圧力を選択し、パワーレベルを調整することができます。さらに、ベースユニットには、2つの水冷式熱交換器と4つのPIDコントローラを含む温度制御用のコンポーネントも含まれています。真空チャンバーは絶縁されており、汚染を最小限に抑え、フィルムの接着性を最大化するのに役立ちます。それはステンレス鋼から組み立てられ、堅い真空のシールを保障するために複数の独立した部品を含んでいます。これらのコンポーネントには、最適なポンプ速度、ゲートバルブ、VCRフェルール、フランジ、圧力計、ニードルバルブを備えたターボ分子ポンプが含まれます。VARIAN 3120は完全に自動化され、構成可能なRFマッチングネットワークを備えています。このRFマッチングネットワークは、スパッタリング圧力で正しい電極マッチングを確立するために、RF電源供給ユニットのインピーダンスを調整することができます。RF電源は、3つの独立したRFソースを介してサンプルに供給されます。さらに、反応性ガスを使用するための陰極アーク源とガスインジェクタも備えています。3120は安全を念頭に置いて設計されています。圧力および温度モニター、ドライスクロール真空ポンプ、およびさまざまな安全インターロックなど、いくつかの独立した安全機能が装備されています。さらに、このツールは、避難したチャンバーの外に保管されているすべての危険なガスとソースを保持することにより、さらに保護されます。結論として、VARIAN 3120は、さまざまな基板上に薄膜材料を堆積させるために設計された高度で完全に構成可能なスパッタリング資産です。それは精密な温度および電力制御のための隔離された真空部屋、多数の独立した安全特徴および部品が装備されています。RFマッチングネットワークを使用すると、電力供給モデルのインピーダンスを調整して最適なマッチングを行うことができます。