中古 VARIAN 3120 #9069403 を販売中

VARIAN 3120スパッタリング装置は、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）および物理蒸着（PVD）プロセスの先進的なツールです。ガラス、ガラスセラミックス、プラスチック、金属などの高温基板に薄膜層を素早く正確に堆積させることができる直感的で高度なシステムです。3120ユニットには、2つの独立したスパッタリング源、3つの回転可能なターゲット、2つのクリープチャンバー、1つの電子銃スパッタリング源が含まれています。チャンバー内の2つのマグネトロン源の同時動作は、プロセスの収率と再現性を最大化するのに役立ちます。さらに、チャンバーとコンポーネントは、チャンバーの避難時間を短縮し、より大きな領域での堆積率を最適化するように設計されています。VARIAN 3120には、常に均一で最適な洗浄を維持するように設計された大型の高真空チャンバーも含まれており、薄膜層の堆積のための非常にきれいで滑らかな表面をもたらします。3120マシンには、イオン注入、電子ビームまたはレーザー溶融、および熱酸化など、スパッタリングと他のプロセスの間で迅速に変更することができる多数の機能があります。ユーザーは、ターゲット電流密度、酸素ドーピングレベル、基板バイアス、温度などのプロセスパラメータを常に制御するためにこのツールを使用できます。VARIAN 3120には、モデルが安全に動作できるようにするインターロックアセットなどの高度な安全機能も含まれています。装置は室温と圧力を一定に保つためにアンロードされたエアコンに囲まれています。3120はまた非常に高解像度のイメージングを提供し、ユーザーはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して画像を表示、編集、分析することができます。このインターフェイスを使用すると、合成パラメータをすばやく調整してフィルム層を微調整できます。最後に、VARIAN 3120システムは、自動化されたシステムや工場環境に簡単に統合できます。このユニットは、200°Cの温度と最大5E-6 Torrの圧力で、幅広いプロセス条件で動作します。これにより、量産運転に最適です。