中古 VARIAN 3119 #293704657 を販売中
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タップしてズーム
VARIAN 3119は、薄膜製造用に設計されたロボットスパッタ成膜装置です。このシステムは、イジェクタアレイを使用して材料のイオンを基板に取り出し、プロセス中に薄膜を作成します。このユニットは柔軟かつ効率的に設計されており、素早く調整し、さまざまな材料や密度の薄膜を作成するために適応することができる自動化されたプロセスを備えています。3119マシンは、IONソースと活性剤、試料配置のためのスパッタステージのシリーズ、材料の封じ込めのためのシールド、および基板を保持するための静電チャックで構成されています。IONソースは、ターゲット材料から基板をスパッタしてエッチングするために使用される高出力DCアークで構成されています。スパッタステージは、材料と基板を保持するために使用され、フィルムの厚さを制御するために調整することができます。静電気チャックは、ターゲット材料に対して基板を保持するために使用され、シールドは、ソース材料が環境に放出されないように、封じ込めを提供します。VARIAN 3119は、高度なエレクトロニクスと光学を使用して、蒸着プロセス中の正確な制御を保証します。このツールの高周波発電機は、最大3次元の磁場を生成し、スパッタ材料を正確に制御することができます。さらに、プログラム可能な電子コントローラを使用して、イオン電流、イオンビーム角、および蒸着速度を調整します。最後に、デジタルCCDカメラ資産は、スパッタプロセスを監視し、それに応じて調整することができるようにズームとフォーカス機能を提供します。3119は非常に汎用性の高いモデルで、さまざまな業界の薄膜アプリケーションに役立ちます。この装置は柔軟性と効率性を兼ね備えており、さまざまな設定でさまざまな薄膜を作成するために使用することができます。蒸着プロセスを正確に制御するシステムの能力は、小規模および大規模な生産プロジェクトに最適です。VARIAN 3119は、精密な薄膜堆積物を一貫して提供することで、薄膜製造に効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。
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