中古 VARIAN 3118 #9358260 を販売中

VARIAN 3118は、半導体ウェーハなどの基板に薄膜を成膜するための高精度、高スループットスパッタリング装置です。VARIANのフラッグシップスパッタリングシステムの1つとして、3118は優れた性能と信頼性を備えた最先端技術を提供しています。このシステムは、高貴な金属、半導体、誘電体の材料でさまざまな基板をコーティングすることができる最大18個の磁気的に強化されたダイオードスパッタ源で構成されています。VARIAN 3118ユニットには、室温から500Cまでの範囲で正確な基板温度制御用のデュアルデジタル温度コントローラが含まれています。6位置のロボット基板処理機により、多層膜の同時成膜の効率的な基板搬送が可能です。3118には、真空、急速圧力サイクル、室温から500Cまでの均一な基板加熱で基板交換を迅速に行うことができるロードロックツールが装備されています。アセットにはオープンデザインも備えており、メンテナンスや調整に簡単にアクセスできます。VARIAN 3118スパッタリングモデルには、圧力、温度、電力、蒸着速度、およびその他の重要なパラメータを正確に監視および制御する一連のコンピュータ制御システムも含まれています。高度なコンピュータソフトウェアは、堆積パラメータのリアルタイム監視と操作を可能にし、プロセス結果の堅牢性と信頼性を保証します。3118は、半導体デバイス製造、マイクロエレクトロニクス加工、薄膜太陽電池など、さまざまな用途に使用できる高品質の薄膜材料を幅広く作成することができます。この装置は、研究室と生産施設の両方での使用に非常に適しています。